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一只CMP研磨盘的自述:走进3M的匠心工艺

关键词 研磨盘|2023-06-15 09:39:42|企业新闻|来源 3M半导体材料
摘要 我是一枚CMP研磨盘,来自3M。圆圆的身形里藏着满满的匠心工艺。我的公司3M,活跃于人类工作生活的各个方面,是一家经营多元化产品的百年科技企业。然而,不止是日常使用的物品,3M的材...

       我是一枚CMP研磨盘,来自3M。圆圆的身形里藏着满满的匠心工艺。

       我的公司3M,活跃于人类工作生活的各个方面,是一家经营多元化产品的百年科技企业。

       然而,不止是日常使用的物品,3M的材料还出现在各类电子产品的生产制造过程里。我们都知道,高精度半导体生产技术的发展已经成为了当今科技领域的核心。但半导体制造有一套复杂的流程,需要各种材料和技术的完美配合。作为制造过程中重要的一环,修整晶圆表面的CMP技术,即化学机械抛光技术,对材料的选择和性能要求非常高。

       CMP的作用是在晶圆片加工中去除表面多余的材料,保证晶圆表面的平整度和光洁度,从而保证半导体芯片的性能。

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       CMP材料的大家族里有研磨盘、研磨垫、研磨刷等多种产品。作为CMP材料的明星单品,我的应用广泛,涵盖了从高端芯片到普通电子产品的生产,包括DRAM、Flash、CMOS、CPU等,可以适应各种半导体制造工艺和要求,全心全意为半导体制造商带来更高的产量和更佳的质量。我的公司3M目前已经开发了2个系列的产品:3M™ Trizact™ 研磨盘及3M™ 钻石研磨盘,从整体形状到尖端形状再到高度分布,几乎每一方面都可以在微观尺度上进行定制,按照您喜欢的程度进行修整。

       作为一位 “平整大师”,我采用3M公司专有的微复制工艺,使用具有类钻涂层的陶瓷或钻石材料,能够有效控制研磨压力和温度。可以提供高效的研磨效果,最大程度地减少磨损,保证研磨过程中的稳定性和可重复性。

       此外,我还是一名“材料兼容家”。我可以适应包括硅、氮化硅、氧化铝等各种材料和要求,具有优异的切削性和光洁度,保证芯片表面的平整度。

       一道道优良的工艺让我拥有长寿基因,具备高度的耐磨性,可以大幅度降低生产成本和工艺调整的次数。

       CMP研磨盘修整毛刷是我的好搭档,它的刷毛独立固定并均匀分布于刷子表面,可以在研磨过程中有效地清除碎屑,有效分配研磨液。

       作为一家科技企业,我的公司3M不断推进半导体制造技术的研发和应用,为市场提供优质的CMP材料和其他半导体制造相关材料和方案,包括晶圆保护、先进封装材料等,为半导体制造商提供全面的技术支持,帮助半导体厂商提高生产效率,降低成本,提高产品质量和市场竞争力。“科技,改善生活”的信念一直活跃于百年的3M公司中。尽心攻克半导体生产制造的材料难题,于是一只先进的CMP研磨盘由此诞生,我们希望帮助您塑造半导体行业的未来。

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