摘要 北京工业大学成功开发出定向排列晶须磨具与类金刚石(DLC)纤维磨具性能素材刀具与磨具,如砂轮、珩磨油石等。使用DLC纤维代替细磨粒作为磨料,克服了现有磨具因细磨粒粘接面积小和强...
北京工业大学成功开发出定向排列晶须磨具与类金刚石(DLC)纤维磨具性能素材刀具与磨具,如砂轮、珩磨油石等。使用DLC纤维代替细磨粒作为磨料,克服了现有磨具因细磨粒粘接面积小和强度弱而导致在正常磨削条件下,细磨粒易从磨具表面上脱落的缺点,具有晶须或DLC纤维定向排列且与磨具磨削相垂直,磨削能力强、耐磨性好、寿命长等优点;晶须磨具的磨削比为2200,在修锐后为6000,磨削效率提高10倍以上;晶须磨具、DLC纤维磨具分别精磨模钢(HRC60)硅片可获得纳米级加工表面精磨、研磨可用同一磨具,无需专门的研磨和抛光工序。适合于精密与纳米加工各种难加工材料和硬脆材料。