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宁夏宇创电子申请用于晶圆研磨抛光的辅助设备专利,提高研磨抛光的精度和质量

关键词 研磨抛光|2025-08-20 15:28:15|涂附新闻|来源 金融界
摘要 专利摘要显示,本发明涉及晶圆研磨抛光技术领域,且公开了一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备,通过电机驱动转杆和转盘的转动,使得六个第一竖杆和第一抵触杆围绕晶圆均匀分布并进行夹紧动作。相比...

金融界2025年8月20日消息,国家知识产权局信息显示,宁夏宇创电子有限公司申请一项名为“一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备”的专利,公开号CN120503120A,申请日期为2025年07月。

专利摘要显示,本发明涉及晶圆研磨抛光技术领域,且公开了一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备,通过电机驱动转杆和转盘的转动,使得六个第一竖杆和第一抵触杆围绕晶圆均匀分布并进行夹紧动作。相比传统仅依靠弹簧和推杆的固定方式,这种多点均匀夹紧的方式能够更稳定地固定不同尺寸的晶圆,避免因推杆行程短导致的固定不充分问题,大大增强了晶圆在研磨抛光过程中的稳定性,有效防止晶圆偏移转动,从而提高研磨抛光的精度和质量,且在侧面限位的同时顶部限位板下降能够对晶圆进行垂直方向的限位固定,这种顶部限位方式与侧面的第一抵触杆相结合,形成了上下夹紧的固定模式,进一步增强了晶圆在研磨抛光过程中的稳定性。

天眼查资料显示,宁夏宇创电子有限公司,成立于2025年,位于银川市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本50万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏宇创电子有限公司参与招投标项目2次,专利信息1条,此外企业还拥有行政许可1个。


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