摘要 滨松光子技术(HamamatsuPhotonics)计划把硅晶圆激光切割技术用于硅以外的材料切割。该公司在微机械展上利用展板介绍了相关开发计划。 硅晶圆激光切割将能够切割...
滨松光子技术(Hamamatsu Photonics)计划把硅晶圆激光切割技术用于硅以外的材料切割。该公司在微机械展上利用展板介绍了相关开发计划。
硅晶圆激光切割将能够切割砷化镓(GaAs)、蓝宝石、玻璃及碳化硅(SiC)等材料的底板。滨松光子技术的激光切割机通过向想要切割的部分照射激光,使该部分的材料性质发生改质,只需轻轻施力,即可切割成片。照射激光的工艺条件因材料而异,该公司在切割机中加入优化后的工艺条件。
另外,该公司已开始提供相关支援服务,通过该服务可轻松找到材料及厚度等各种切割条件的工艺条件。登陆该公司网站,输入切割条件,即可根据该公司过去的数据库,提供公认为最佳的工艺条件。