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伟元科技申请芯片用抛光液及其制备方法专利,改性抑制剂能有效阻止抛光液对铜表面的腐蚀

关键词 抛光|2025-06-30 16:34:02|涂附新闻|来源 金融界
摘要 专利摘要显示,本发明公开了一种芯片用抛光液及其制备方法,该抛光液......

金融界2025年6月28日消息,国家知识产权局信息显示,东莞市伟元科技有限公司申请一项名为“一种芯片用抛光液及其制备方法”的专利,公开号CN120209714A,申请日期为2025年03月。

专利摘要显示,本发明公开了一种芯片用抛光液及其制备方法,该抛光液包括如下百分比原料:改性磨料0.5‑0.8%、双氧水1‑1.2%、甘氨酸2‑2.5%、改性抑制剂0.1‑0.5%和聚乙二醇0.5‑1%,余量为水,将原料混合均匀,加入氢氧化钾调节pH值为8.5,制得芯片用抛光液,改性抑制剂的加入能够在铜表面形成一层致密的钝化膜,有效阻止抛光液对铜表面的腐蚀,改性填料以二氧化硅为主体材料表面和内部嵌有氧化铝,使得改性填料在具有高硬度的同时不容易团聚,降低了抛光液的粘度,进而使得抛光液更容易清洗,减少的工序,提升抛光效率。

天眼查资料显示,东莞市伟元科技有限公司,成立于2019年,位于东莞市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,东莞市伟元科技有限公司参与招投标项目3次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息30条,此外企业还拥有行政许可10个。


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