2025年6月3日,上海市市场监督管理局组织召开了《硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额》地方标准技术审查会,来自市能效中心、市节能中心、市质量和标准化研究院、集成电路行业协会、中科院上海微系统与信息技术研究所、生产企业的七名专家参加了评审。
会议由市市场监督管理局标准化处刘宙君副处长主持
市能效中心公共事业部主任薛恒荣担任专家组组长
专家组听取了标准编制组关于标准编制情况和主要技术内容的汇报,并从科学性、规范性、时效性和协调性等方面对标准送审稿进行了全面的评审,形成了技术审查意见,认为:标准结构合理、内容完整,编写符合GB/T1.1-2020规定;修订后形成的新能耗限额指标体系,具有较强的指导性和可操作性;标准的发布实施将为生产企业的能耗限额指标计算、考核提供技术支撑,对促进行业节能降耗工作具有积极意义。专家组一致同意该标准通过技术审查。
另外,专家组根据半导体材料的规范术语,建议标准名称由《硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额》更改为《硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额》,并要求对标准送审稿做进一步的修改完善,形成报批稿。同时专家组提出,地方能耗限额标准的制修订,应充分体现本市对该行业发展的指引;标准指标值的设置,对于重点支持的大规格单晶硅产品,应给予其适当发展的空间;对于成熟的8英寸和6英寸产品,应引导企业不断节能降耗,提升能耗水平。
上海有色金属行业协会是《硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额》标准的第一起草人,本次为第二次修订,参加起草的生产企业有上海合晶硅材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、上海新傲科技股份有限公司、上海新昇半导体科技有限公司、上海超硅半导体股份有限公司。该标准为地方强制性标准,标准发布实施后,有关能源管理部门将根据标准对硅单晶棒、单晶硅片产品生产企业的能耗进行考核。