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石英玻璃是常用的光学材料，具有极低的热膨胀系数、出色的电绝缘性能、稳定的化学性质以及良好的光传输特性，在国防军工、航空航天、激光通信和光学器件等先进制造领域得到了广泛应用。

       随着各种光学应用对高性能石英玻璃需求的增多，对其生产效率和服务可靠性的标准也随之提高。加工石英玻璃的过程中容易产生划痕和凹坑等表面缺陷，影响最终产品的性能和寿命。研磨能去除切割过程中产生的表面损伤。游离磨料的工艺体系成熟，能够实现纳米级甚至更高级别的表面质量；但是磨料分散性差、易团聚和加工成本高。固结磨料磨具有磨粒轨迹明确、表面平整度高、加工成本低、加工效率高以及环境友好等优点，得到广泛应用。

       为了提高石英玻璃研磨的材料去除效率和表面质量，采用固结聚集体复合磨料垫进行加工。通过常温常压烧结法制备了粒径为28 μm的聚集体复合磨料，分别为氧化铝-金刚石复合磨料、金刚石-金刚石复合磨料和二氧化硅-金刚石复合磨料。然后通过紫外光固化技术，制备了3种固结聚集体复合磨料垫。为验证所制备磨料垫的性能，使用相同的工艺制备了3种相应的固结单晶磨料垫，并开展对比试验。

       研究结果表明，固结聚集体复合磨料垫具有更高的加工效率，最高材料去除率可以达到3.611 μm/min。研磨后，石英玻璃的表面粗糙度(R_a)显著降低，修复了大划痕等表面损伤。其中最低的表面粗糙度为91.564 nm。固结聚集体复合磨料垫还展现出优越的摩擦磨损性能，以更好的加工能力高效加工石英玻璃。

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       文章并非开放获取。点击https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S2352492824009796转至发表链接。您也可以通过下方的邮件地址联系通信作者王占奎副教授luckywzk@126.com