涂附磨具网

2013年大学毕业进入碳化硅研发团队工作，现担任山西烁科晶体有限公司粉料部经理的马康夫，近十年的职场打拼都是在围着“碳化硅”转。成长的喜悦和烦恼都是为了一片片薄薄的碳化硅晶片。
    2020年9月，山西烁科晶体有限公司整体由市区迁至位于山西综改示范区的中国电科（山西）碳化硅材料产业基地。3月12日，记者在基地办公大楼一层大厅看到，碳化硅粉料、碳化硅单晶锭、碳化硅晶片等展品一字排开，闪烁着特有的光泽。这一件件凝结着科研、生产人员智慧和心血的展品，印证了烁科人矢志不渝，突破碳化硅材料“卡脖子”技术的艰辛之路。
    从研制碳化硅单晶生长炉起步，历经11年艰苦探索，攻克生产碳化硅晶片的两大关键技术——

实现从0到1的跨越

据介绍，碳化硅是全球最先进的第三代半导体材料，和第一代的硅、第二代的砷化镓材料相比，具有耐高压、高频、大功率等优良的物理特性。一片状如光盘、厚度仅500微米的高纯半绝缘碳化硅晶片市场售价近万元，是新一代雷达、卫星通信、5G基站等重要领域的核心材料。导电型的碳化硅晶片也可用在高压输变电、轨道交通、电动汽车等领域。

长期以来，我国碳化硅从粉料到晶片依赖进口，渠道不稳定，质量不可控，且价格昂贵。烁科公司碳化硅研发团队从研制碳化硅单晶生长炉起步，到攻克生产碳化硅晶片的两大关键技术——晶体生长和晶片加工，历经11年的艰苦探索，成功实现从0到1的跨越。

核心技术是国之重器。市场换不来核心技术，有钱也买不来核心技术，必须靠自己研发、自己发展。’习近平总书记的重要指示，我们时刻牢记在心。”该公司总经理李斌回忆说，十余年来，碳化硅研发团队两代科研人员潜心钻研碳化硅单晶生长炉的研制，掌握了晶片加工的制备工艺，在国内率先完成4英寸高纯半绝缘碳化硅单晶衬底材料的工程化和6英寸N型以及高纯半绝缘碳化硅单晶衬底的研发，一举突破国外对我国碳化硅晶体生长技术的长期封锁。

走进基地单晶生长车间，记者透过玻璃幕墙看到，静静的车间里，数百台生长设备整齐排列，温度高达2000摄氏度以上的生长炉内每分每秒都在发生着变化。

然而，在生长的过程中，晶体中如果出现仅有头发丝几十分之一细的管状孔洞也可能影响整个晶体的生长质量，且由于炉内温度过高，无法人工干预。把生长好的晶锭用金刚石线切成一片一片的圆片，再进行研磨、抛光，对环境、工艺的要求十分苛刻。马康夫介绍说：“我们用了十多年时间突破了这两大关键技术，整个团队中既有擅长设备的，又有研究材料、工艺的。遇到难题，大家从各自领域查找问题，集中力量展开攻关，不理出个头绪来，连饭也顾不上吃。”

为了实现从0到1的跨越，碳化硅研发团队引进了1名外国专家、从培养了多名国内碳化硅领域领军人才的山东大学引进了魏汝省博士等数名专业人才。集团拨付了专项人才引进资金，支持碳化硅产业做强做优。

从开工到投产用时仅10个月，目前碳化硅半导体材料国内市场占有率超过50%——

阔步从1迈向100

如何实现从1到100的跨越？以土地置换的方式，整体退城入园！

2018年，山西省政府与中电科集团达成战略合作关系，展开全方位合作。通过吸引上游企业，形成产业聚集效应，完善三代半导体产业生态链，建成国内最大的碳化硅材料供应基地。这是央地合作的重大战略布局，将彻底破解国外对我国碳化硅封锁的局面，实现完全自主可供。

中国电科（山西）碳化硅材料产业基地占地150亩，一期项目于2019年4月开工建设，9月主体封顶，12月设备开始搬入，2020年2月实现项目投产，前后用时仅10个月。一期项目达产后，将形成年产18万片N型碳化硅单晶晶片、5万片高纯半绝缘型碳化硅单晶晶片的产能。目前，基地已建成粉料合成及单晶生长车间1栋，加工清洗及检测车间1栋，建筑面积达2.6万平方米，拥有设备500余台；实现了高纯度碳化硅单晶的商业化量产，高纯碳化硅粉料纯度和晶体良品率居于国际先进水平。

“基地的粉料合成设备、单晶生长设备都是我们自己研发、生产的全国产化设备。2020年，碳化硅晶片产量达3万余片，市场占有率超过50%。今年，还将投资大力提升车间的智能化水平，建设基于5G技术的智能化、数字化车间，各个生产环节的技术参数在中控室一屏可视。”李斌介绍说。

完成1到100的跨越，提升生产管理组织的精细化、科学化水平是重要环节。中电科集团加强顶层设计，整合内部资源，2020年1月，河北普兴公司赵丽霞博士管理团队融入烁科公司，并将碳化硅业务以及设备一同并入。

更为深刻的变化是，原仅有20多人的碳化硅研发团队于2018年10月成立烁科公司，到现在员工人数达到近300人，其中博士研究生4名。今年，公司将继续引进各类人才100余人。在2019年完成第一轮核心骨干持股的基础上增股5000万元，启动第二轮员工持股，充分调动员工积极性主动性，用事业留人、用待遇留人。

聚焦“六新”突破，转型发展蹚新路。《山西转型综合改革示范区“十四五”时期高质量高速度发展行动方案》提出：抢抓国产化替代机遇，拓展与中国电科战略合作，构建“材料-设备-芯片设计-芯片制造-封装-应用”产业链，打造第三代半导体材料和器件产业集聚区。

实现“百亿产值、千亿市值”——在中电科集团产业版图上，碳化硅材料产业基地亦被寄予厚望。今年春节刚过，国内已有多家厂商前来考察商讨碳化硅材料的拓展应用。3月中旬，中电科集团派出券商机构前来对接，助力烁科公司早日上市。李斌充满信心地说：“山西省对战略性新兴产业执行每度电0.3元，综改示范区对基地建设、人才引进给予大力扶持……更加坚定了我们加快发展的决心和信心。把核心技术牢牢掌握在自己手里，我们过去是这样走过来的，今后还将更坚定地走下去！”